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TLD-100A輪廓儀
測量項目 |
測量項目 |
點(diǎn)、直線、圓、部分圓、橢圓、圓弧處理(圓弧半徑、圓心距、圓心到直線的距離、
交點(diǎn)到圓心的距離等)、highest點(diǎn)、lowest點(diǎn)、距離、角度處理(坐標(biāo)夾角、直線夾角)、
直線度、槽深、槽寬、溝邊距、溝心距、水平距、凸度(對數(shù)曲線)、輪廓度等參數(shù) |
測量范圍 |
X軸(橫導(dǎo)軌) |
100mm |
Z1軸(傳感器) |
4mm |
Z軸(立柱) |
400mm |
測量精度 |
X軸(L=X軸導(dǎo)軌移動距離) |
±(1.5+2L/100) μm |
Z1軸(H=Z1軸方向測量高度) |
±(2+4H/100) μm |
X軸水平臂 |
直線度 |
0.35μm /60mm |
光柵分辨率 |
0.1μm |
光柵產(chǎn)地 |
國產(chǎn) |
Z1軸傳感器 |
分辨率 |
0.04μm |
傳感器類型 |
電感傳感器 |
產(chǎn)地 |
國產(chǎn) |
移動方向 |
前/后 雙方向 |
測力 |
0.01-0.06N |
測針針尖 |
硬質(zhì)合金 R:0.05mm、0.01mm |
爬坡角度 |
上升77度 下降88度 |
速度 |
測量速度 |
0.02mm/s,0.05mm/s,0.1mm/s,0.2m/s,0.5mm/s,1.0mm/s,2.0mm/s,4.0mm/s(8個) |
定位速度 |
0.02mm/s,0.05mm/s,0.2m/s,0.5mm/s,1.0mm/s,2.0mm/s,3.0mm/s,4.0mm/s(8個) |
圖形放大/縮小 |
圖形放大 |
可任意縮小、放大 |
綜合調(diào)整臺 |
A型綜合調(diào)整臺 |
X軸水平傾斜調(diào)整范圍:±30°,Y軸方向調(diào)整范圍:±7.5mm,Z軸回轉(zhuǎn)可調(diào)360度(帶微調(diào)裝置) |
B型綜合調(diào)整臺 |
X軸水平傾斜調(diào)整范圍:0-60°,Yθ1:0-1.5度,Zθ1:0-2.5度,Zθ2:0-1.5度 |
安裝要求 |
電源 |
220-240V AC, 50HZ,單獨(dú)地線;功率消耗≤450W |
壓縮空氣 |
純凈壓縮空氣:氣壓0.4MP,消耗0.1m³
/min (氣源供給0.6MP,0.25m³
/min以上) |
環(huán)境要求 |
工作溫度:10°-30°(常溫);濕度20-80%RH(無結(jié)露),良好地線,無明顯振源 |
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