| 測(cè)量項(xiàng)目 |
| 測(cè)量項(xiàng)目 |
點(diǎn)、直線、圓、部分圓、橢圓、圓弧處理（圓弧半徑、圓心距、圓心到直線的距離、
交點(diǎn)到圓心的距離等）、MaxX點(diǎn)、Min點(diǎn)、距離、角度處理（坐標(biāo)夾角、直線夾角）、
直線度、槽深、槽寬、溝邊距、溝心距、水平距、凸度（對(duì)數(shù)曲線）、輪廓度等參數(shù) |
| 測(cè)量范圍 |
|
X軸（橫導(dǎo)軌） |
100mm |
| Z1軸（傳感器） |
40mm |
| Z軸（立柱） |
400mm |
| 測(cè)量精度 |
|
X軸(L=X軸導(dǎo)軌移動(dòng)距離) |
±(1.2+L/300)μm |
|
Z1軸(H=Z1軸方向測(cè)量高度) |
±(1.2+6H/100) μm |
| X軸水平臂 |
| 直線度 |
0.15μm/60mm |
| 光柵分辨率 |
0.1μm |
| 光柵產(chǎn)地 |
進(jìn)口 |
| Z1軸傳感器 |
| 分辨率 |
0.1μm |
| 傳感器類型 |
光柵傳感器 |
| 產(chǎn)地 |
進(jìn)口 |
| 移動(dòng)方向 |
前/后 雙方向 |
| 測(cè)力 |
0.5-6g |
| 測(cè)針針尖 |
硬質(zhì)合金 R：0.05mm、0.01mm |
| 爬坡角度 |
上升77度 下降88度 |
| 速度 |
| 測(cè)量速度 |
0.02mm/s,0.05mm/s,0.1mm/s,0.2m/s,0.5mm/s,1.0mm/s,2.0mm/s,4.0mm/s(8個(gè)) |
| 定位速度 |
0.02mm/s,0.05mm/s,0.2m/s,0.5mm/s,1.0mm/s,2.0mm/s,3.0mm/s,4.0mm/s(8個(gè)) |
| 圖形放大/縮小 |
| 圖形放大 |
可任意縮小、放大 |
| 綜合調(diào)整臺(tái) |
| A型綜合調(diào)整臺(tái) |
X軸水平傾斜調(diào)整范圍：±30°，Y軸方向調(diào)整范圍：±7.5mm，Z軸回轉(zhuǎn)可調(diào)360度（帶微調(diào)裝置） |
| B型綜合調(diào)整臺(tái) |
X軸水平傾斜調(diào)整范圍：0-60°，Yθ1：0-1.5度，Zθ1：0-2.5度，Zθ2：0-1.5度 |
| 安裝要求 |
| 電源 |
220-240V AC, 50HZ，單獨(dú)地線；功率消耗≤450W |
| 壓縮空氣 |
純凈壓縮空氣：氣壓0.4MP，消耗0.1m³
/min （氣源供給0.6MP，0.25m³
/min以上） |
| 環(huán)境要求 |
工作溫度：10°-30°（常溫）；濕度20-80%RH（無(wú)結(jié)露），良好地線，無(wú)明顯振源 |
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外形測(cè)量?jī)x器
：022-27546357，
：022-27526357，
：13388002188，
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